Tehniki parametrler
| Element | Parametr |
| Modeli | Yy30-d3 |
| Ölçeg diapazony (film) | 0.01 ~ 6500 (cc / ㎡ ㎡ ㎡.24h) |
| Çözgüdi | 0.001 |
| Üstünlik ölçegi | 50 c㎡ (beýlekiler özleşdirilip bilner) |
| Galyňlygy | <3 mm (galyňlyk üçin hasrat esbaplary üçin zerur) |
| Nusga mukdary | 3 (Görnüş 1) |
| Synag tertibi | Garaşsyz datçik |
| Temperatura dolandyryş aralygy | 15 ℃ ~ 55 ℃ (temperaturanyň dolandyryş bölümi aýratynlykda) |
| Temperatura gözegçilik takyklygy | ± 0.1 ℃ |
| Daşaýjy gaz | 99,999% ýokary arassa nitrogyrlygy (howa çeşmesi ulanyjy tarapyndan taýýarlanýar) |
| Daşaýjy gaz akymy | 0 ~ 100 ml / min |
| Howa çeşmesi basyşy | ≥0.2mpa |
| Portuň ululygy | 1/8 dýuým metal turba |
| Ölçegli ululygy | 740mm (l) × 415 mm (w) × 430mm (h) |
| Elektrik üpjünçiligi | Ac 220v 50hz |
| Sap agram | 50kg |